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各向異性磁阻AMR光電開關(guān)傳感器是一種可敏感磁場 范圍的磁微傳感器。AMR微型傳感器可敏感靜磁場的強度及方向。這種微傳感器的制作 一般是在硅基底上沉積坡莫合金薄膜，然后再記得蝕成電阻條開關(guān)。在外磁場作用下，AMR薄膜的磁阻特性使電阻改變2%-3% 坡莫合金的磁阻效應(yīng)當不存在外界磁場時，坡莫合金的內(nèi)部磁極化強度與電流流動方向平行。如果外界磁場H與坡莫合鑫平面平行，但垂直于電流流動方向，則坡莫合金內(nèi)部磁極化強度的方向?qū)a(chǎn)生角度為A的育齡婦女。因此，坡莫合金的電阻值將會往前變，即R=RO+ROCOS2A。顯然，由于二次基的存在，電阻與磁場強度之間的關(guān)系為非線性，且電阻值與磁場強度值之間也不是一一對應(yīng)關(guān)系。 |
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