兩種電容式壓力傳感器。為單只變極距型拉繩開(kāi)關(guān)電容傳感器，用于測(cè)量流體或氣體的壓力。液體或氣體壓力作用于彈性膜片，使膜片片產(chǎn)生位移，位移導(dǎo)致電容量的變化，從而眞起由該電容組成的振蕩器的振蕩頻率變化，頻率信號(hào)經(jīng)計(jì)數(shù)、編碼、傳輸?shù)斤@示部分，即可指示壓力變化量。
一種小型差動(dòng)式電容壓力傳感器。它由金屬?gòu)椥阅てc鍍金凹型下班圓片組成。當(dāng)被測(cè)壓力通過(guò)過(guò)濾器進(jìn)入空腔時(shí)，由于彈性膜片兩側(cè)的壓力差，使彈性膜片凸向一側(cè)，產(chǎn)生位移，該位移改變了兩個(gè)鍍金下班圓片與彈性膜片間的電容量，通過(guò)如脈沖涼寬度調(diào)制等電路的處理可以實(shí)現(xiàn)壓力測(cè)量方法。這種傳感器的靈敏度和分辨率都很高。其靈敏度取決于初始間隙越小，靈敏度越高。根據(jù)實(shí)驗(yàn)，該傳感器可以測(cè)量方法一定數(shù)值的微箥壓差。其動(dòng)態(tài)響應(yīng)顯然主要取決于片的固有頻率。 |
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