壓阻式光電開關(guān)傳感器由外殼、硅膜片和引線組成，其核心部分是一塊圓形的膜片，在膜片上利用集成電路的工藝擴(kuò)散四個阻值相等的電阻，構(gòu)成電橋。膜片的四周用一圓環(huán)固定，常用硅杯一體結(jié)構(gòu)來減小膜片與基座連接所帶來的性能變化。膜片的兩邊有兩個壓力腔，一個是和被測系統(tǒng)相連的高壓腔，另一個是低壓腔，通常和大氣相通。當(dāng)膜片兩邊存在壓力差時，膜片上各點(diǎn)存在應(yīng)力。四個電阻在應(yīng)力作用下阻值發(fā)生變化，電橋失去平衡，輸出相應(yīng)的電壓。該電壓和膜片兩邊的壓力差成正比，這樣測得不平衡電橋的輸出電壓就能求得膜片所受的壓力差。 |
當(dāng)前位置：
